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雪花清洗機(jī)清洗微芯片

發(fā)布時(shí)間：2023-10-11
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在微芯片生產(chǎn)中雪花清洗技術(shù)用途廣泛，二氧化碳雪射流清潔在通過(guò)光刻技術(shù)生產(chǎn)微芯片的傳統(tǒng)中也得到了證明。它用于生產(chǎn)各種應(yīng)用的磁阻（MR）傳感器。cryosnow公司的低溫雪花清洗技術(shù)用于制造 MR 傳感器的三維微芯片，作為傳統(tǒng)濕化學(xué)清潔的有效且環(huán)保的替代方案。這些通常需要使用超純介質(zhì)進(jìn)行昂貴的沖洗過(guò)程。CO2雪花清洗技術(shù)去除了金屬化后在導(dǎo)電路徑邊緣形成的所謂圍欄。然后可以將下一個(gè)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于硅晶圓。

由于即使是最小的流體介質(zhì)殘留物也會(huì)影響微電子元件的功能或保護(hù)涂層的附著力，因此也需要可靠地去除這些殘留物。二氧化碳cryoSnow 雪花清洗技術(shù)為清潔和提高保護(hù)涂層的附著力提供了一種經(jīng)濟(jì)、無(wú)殘留的解決方案。同時(shí)，該工藝還可以對(duì)粘合和接觸區(qū)域等特定部分進(jìn)行選擇性處理。

該工藝還為射頻識(shí)別（RFID）應(yīng)用的微芯片封裝提供了解決方案。在組裝之前，半導(dǎo)體通過(guò)夾持器放置在一個(gè)特殊的彈匣中。在此過(guò)程中，機(jī)器人產(chǎn)生足夠的氣流，這可能會(huì)導(dǎo)致極輕的碎片從包裝中取出。為了防止這種情況，芯片被從包裝后部施加的真空壓住。為此，必須鉆一個(gè)小孔，并清除鉆孔造成的殘留物。二氧化碳雪花清洗裝置在這一特定過(guò)程中表現(xiàn)出色。

所謂的圍欄是由導(dǎo)體路徑
上的濺射在邊緣的光刻膠中發(fā)生化學(xué)
反應(yīng)而產(chǎn)生的，可以使用干CO2有效可靠地
去除二氧化碳雪射流清潔過(guò)程表現(xiàn)出色。