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雪花清洗機清洗微芯片

發(fā)布時間：2023-10-11
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在微芯片生產(chǎn)中雪花清洗技術用途廣泛，二氧化碳雪射流清潔在通過光刻技術生產(chǎn)微芯片的傳統(tǒng)中也得到了證明。它用于生產(chǎn)各種應用的磁阻（MR）傳感器。cryosnow公司的低溫雪花清洗技術用于制造 MR 傳感器的三維微芯片，作為傳統(tǒng)濕化學清潔的有效且環(huán)保的替代方案。這些通常需要使用超純介質(zhì)進行昂貴的沖洗過程。CO2雪花清洗技術去除了金屬化后在導電路徑邊緣形成的所謂圍欄。然后可以將下一個結構應用于硅晶圓。

由于即使是最小的流體介質(zhì)殘留物也會影響微電子元件的功能或保護涂層的附著力，因此也需要可靠地去除這些殘留物。二氧化碳cryoSnow 雪花清洗技術為清潔和提高保護涂層的附著力提供了一種經(jīng)濟、無殘留的解決方案。同時，該工藝還可以對粘合和接觸區(qū)域等特定部分進行選擇性處理。

該工藝還為射頻識別（RFID）應用的微芯片封裝提供了解決方案。在組裝之前，半導體通過夾持器放置在一個特殊的彈匣中。在此過程中，機器人產(chǎn)生足夠的氣流，這可能會導致極輕的碎片從包裝中取出。為了防止這種情況，芯片被從包裝后部施加的真空壓住。為此，必須鉆一個小孔，并清除鉆孔造成的殘留物。二氧化碳雪花清洗裝置在這一特定過程中表現(xiàn)出色。

所謂的圍欄是由導體路徑
上的濺射在邊緣的光刻膠中發(fā)生化學
反應而產(chǎn)生的，可以使用干CO2有效可靠地
去除二氧化碳雪射流清潔過程表現(xiàn)出色。